本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

在图片里，每一餐都有米饭、蔬菜、优质蛋白，而且看起来很多菜品也是非常家常。所以，谁说减肥就一定就是饿肚子，就是不吃碳水，好好吃饭也是可以瘦的。网友评论：

此前孙俪就在社交平台发过许多减脂餐，主打一个健康。

公开资料显示，孙俪，1982年9月26日出生于上海市，中国内地影视女演员、流行乐歌手，代表作有《甄嬛传》《芈月传》《那年花开月正圆》《玉观音》《幸福像花儿一样》。

2010年2月8日，邓超孙俪登记结婚。2011年11月，大儿子邓涵之（等等）出生，2014年5月，小女儿邓涵一（小花）出生。

　　今年以来，私募监管持续加码，一系列新规进一步规范了私募展业各个环节，极大压缩了设立“橱窗基金”、充当通道及“壳私募”买卖交易的生存空间。在严监管背景下，今年以来上千家私募注销，多家私募加快自查合规风险的步伐，并根据实际情况主动清算“壳产品”，暂停不合规的基金净值披露。

　　对私募业来说，大资管、严监管、快出清，可谓一场阵痛与成长交织的改革，但也赋予了行业重新自我定位、规划发展路径的契机。多位业内人士认为，未来私募除了赚钱，更要强化合规底线意识、坚守创造绝对收益的初心、提升专业化水平，做值得投资者信任的资产管理机构。

　　出清加速：

　　上千家私募注销 数十家被罚

　　研究新规、逐条自查、组织监管政策学习讨论会、调整运营细节，这是刘丽（化名）最近经常加班的原因，更是大多数私募管理人正在做的“功课”。

　　刘丽是一家百亿级量化私募的合规总监。她坦言，今年以来监管持续加码，“整个行业都‘绷紧了一根弦’，未来展业的每个环节都必须严守合规底线，否则面临的就是被处罚，甚至被注销”。

　　从公开信息看，今年以来监管机构进一步规范了私募展业的各个环节。4月28日，中基协就《私募证券投资基金运作指引》向社会公开征求意见，拟对私募基金的募集及存续门槛、组合投资、总杠杆水平等方面予以规范；5月1日，《私募投资基金登记备案办法》（下称“备案办法”）正式生效，对私募基金的高管和股东等均有严格要求，被称为“史上最严”备案登记新规。

　　严监管下，很多私募基金管理人积极开展自查。中基协公示信息显示，上海睿郡投资管理合伙企业（有限合伙）（下称“睿郡投资”）已于5月22日主动注销。对此，睿郡资产发布公告称，睿郡投资实际控制人杜昌勇名下已有一家私募证券投资基金管理人——上海睿郡资产管理有限公司，睿郡投资旗下已无在管基金，未来将不再从事证券投资类私募业务，因此公司近期主动向中基协递交注销私募基金管理人登记的申请。

　　2022年以来，主动注销的私募数量明显提升。中基协数据显示，2022年主动注销管理人数量达1356家，是2021年的2.2倍。截至5月30日，今年以来也有近240家私募主动注销。

　　除了不断细化完善规则，今年以来，监管部门还通过行政监管措施、清理等方式加快出清 “伪私募”“乱私募”。

　　中基协公示信息显示，5月已注销的私募基金逾70家，今年以来，已有1796家私募基金管理人被注销。从年度数据看，今年以来被中基协注销的私募数量创出历史新高。

　　与此同时，今年以来中基协多次发布《纪律处分决定书》，多家机构被取消会员资格、撤销管理人登记，涉及10余家私募机构和负责人。十三地证监局则对44家私募基金及其相关负责人开出60张行政监管措施决定书。综合来看，信息披露违规、违反投资者适当性、未充分履行谨慎勤勉义务、未及时向中基协履行报告义务等成为关注重点。

　　“野蛮”落幕：

　　灰色操作生存空间压缩

　　严监管下，私募灰色操作衍生出来的行业走向末路。

　　靠“壳私募”买卖赚钱的童瑶（化名），记者找到她的时候，她正在编辑群发各类资质/许可证办理、收转的广告。

　　童瑶坦言：“现在‘壳私募’的钱不好赚了，因为中基协要求私募管理人实缴货币资本不低于1000万元，同一实控人设立第二家同类型公司需说明设立合理性，这些新规极大提高了‘囤壳’的成本，而且很多囤的‘壳’不满足新规要求根本无法转让，这生意就很难做下去了，我们在考虑转行做其他业务。”

　　买“壳”卖“壳”违规，“壳私募”还可能成为场外配资、非法集资的“载体”，为市场带来风险，为投资者带来潜在损失，因此监管部门一直严厉禁止此类行为，备案办法的发布更是极大压缩了这一灰色操作的生存空间。

　　看得到但买不到的“橱窗基金”也玩不转了。此前，一些私募靠长期不开放的小规模产品创造绝对净值，增加曝光量，随后发起设立新产品吸引新客户，以挣得管理费。

　　北京某私募人士直言，一些私募借助“饥饿营销”的套路，来激起更多投资者的购买欲望，但最终投资者未必能买到“橱窗”里的基金。而且，超高业绩往往是通过相对激进的操作实现的。该人士介绍称，这种操作是单押个股成长性，或是利用场外期权将杠杆加至10倍甚至20倍。“投资者只看到超高业绩，很容易忽视背后的风险。此前有基金亏了98%，已经为行业敲响警钟。”

　　“以后这种‘把戏’的空间不大了。”上述人士说，私募基金（特指私募证券投资基金）一直以“灵活性”著称，但不意味着可以脱离投资本源，也需要组合投资、分散投资，做好风险管理。

　　此外，私募基金违规充当“通道”的行为也越来越受到监管重视。某中型私募高管表示，私募成为“通道”，有几种情况：一是不具备私募管理资质的机构或个人，借助有资质的私募发产品；二是私募基金为关联方特殊目的而设立，从而承接关联方的相关需求；三是私募基金产品本身作为通道，“比如买公募产品，解决其清盘问题”。

　　近期，深圳证监局发布2023年第3期深圳私募基金监管情况通报提出，私募管理人不得与外部机构或个人“串通”，将私募基金作为通道或工具，以损害私募基金投资者利益为代价，为其他市场参与者提供发行或承销业务便利，并牟取私利。

　　常胜秘诀：

　　向上生长 向下扎根

　　中基协数据显示，截至2023年4月末，我国现有存续私募基金管理人22270家，管理基金规模20.75万亿元。其中，私募证券投资基金管理人8658家，管理规模接近6万亿元。

　　“不管是管理规模步入20万亿元，还是监管持续发力，都意味着如今私募基金行业又一次站在十字路口，如果走了正确的道路，行业就能持续健康快速发展，反之则会对行业发展带来致命打击。”重阳投资副董事长汤进喜直言。

　　汤进喜表示，私募需要从三个维度来塑造健康的行业文化：首先，坚持投资者利益优先，以保护投资者利益为基础进行产品设计、销售推荐、投资决策、交易运营、客户服务等环节的设置和改善；其次，坚持合规经营，私募基金须通过合规培训、案例教育等方式，将合规内化为员工的自觉行为；最后，提升专业化水平，应通过发现价值、创造价值来获得投资收益，而非短期炒作、内幕交易、操纵市场等违法违规行为。

　　明睿资本认为，私募行业有望向“断尾”“管头”和标准化发展迈进，即小规模私募基金出清、大规模私募更加规范。因此，大型私募管理人须在合规体系和风控体系搭建上多下功夫，真正向大型资产管理机构看齐，小私募也应在合规基础上稳健成长，以差异化优势和专业化能力获取投资人信任。

　　若以2004年私募阳光化为起点，私募行业已经走过近20个年头。如今，私募基金行业再度面临新的课题：如何在这场改革中成长与蜕变，发挥资产管理机构应有的价值？在多位业内人士看来，管理人要以勇气和智慧向上生长，以远见和坚韧向下扎根，打造平台化、合规化、品牌化的综合能力，方能真正在资管行业大发展浪潮中乘势而上。（记者 马嘉悦 梁银妍）

图为代表团成员体验擂茶制作。

12月15日至16日，美国、尼日利亚、新加坡等多国境外旅行商代表团走进泰宁县，通过实地探访、沉浸式体验等方式开展为期两天的文旅踩线与深度交流活动。

踩线期间，代表团循着泰宁文旅核心脉络，先后走进泰宁古城、九龙潭、大金湖、明清园等标志性点位，深度感受“自然+人文”交融的独特魅力。此次多国境外旅行商踩线活动，不仅让境外合作伙伴直观领略泰宁世界遗产的核心竞争力，更搭建起泰宁对接国际文旅市场的重要纽带。

福建日报记者 庄紫怡 通讯员 陈曦 摄